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顯(xian)示器薄膜測量儀*的(de)光(guang)學(xue)模(mo)塊可容納(na)所(suo)有光(guang)學(xue)部件(jian)：分光(guang)計、復合(he)光(guang)源(yuan)(壽命(ming)10000小時)、高精度反(fan)射探頭。因此，在準確性(xing)、重現性(xing)和(he)長期(qi)穩定性(xing)方(fang)面保證了優異的(de)性(xing)能。

FR-Mic 多層膜(mo)厚度測試儀(yi)是(shi)一(yi)款(kuan)快速、準確測量薄膜(mo)表征應用的(de)模塊化(hua)解決(jue)方案，可以將光斑縮小(xiao)到幾個微(wei)米，進而分析微(wei)小(xiao)區域(yu)或者粗糙表面薄膜(mo)特征。

FR-uProbe-LC: 可(ke)測量(liang)小(xiao)至幾微米的(de)(de)光(guang)斑尺寸應(ying)用，例如微圖案表面、高粗糙度表面的(de)(de)樣(yang)品等(deng)等(deng)只需單擊鼠標即可(ke)在 Vis/NIR波長范圍中(zhong)測量(liang)微小(xiao)區域薄膜(mo)厚度、光(guang)學常數、反(fan)射(she)率(lv)、透射(she)率(lv)和(he)吸(xi)光(guang)度

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自動薄膜厚(hou)度(du)測(ce)繪系統，用(yong)于(yu)全自動圖(tu)案化(hua)晶圓上的(de)單(dan)層和(he)多(duo)層涂層厚(hou)度(du)測(ce)量。電動X-Y載物(wu)臺提(ti)供適(shi)用(yong)尺寸 300mm x 300mm毫米(mi)的(de)行程(cheng)，通過(guo)真空固(gu)定在載臺上時進行精確測(ce)量。可(ke)(ke)依測(ce)量厚(hou)度(du)和(he)波長范圍應(ying)用(yong)需求可(ke)(ke)在在 200-1700nm 光譜范圍內提(ti)供各種光學配置

硬化(hua)涂層膜厚儀是一款快速(su)、準(zhun)確(que)測量薄膜表征(zheng)應用的模塊化(hua)解決方案(an)，要(yao)求的光斑尺寸(cun)小到幾個微米，如(ru)微圖案(an)表面，粗糙(cao)表面及許多其(qi)他表面。

Thetametrisis膜厚(hou)測(ce)量(liang)(liang)儀FR-pRo是一個模塊(kuai)化和可擴展平臺的(de)光學測(ce)量(liang)(liang)設備，用于表(biao)征厚(hou)度范圍為1nm-1mm 的(de)涂層。