硬化(hua)涂層(ceng)膜(mo)厚儀是一款快(kuai) 速、準(zhun)確測量薄膜(mo)表(biao)征應用的模(mo)塊(kuai)化(hua)解決(jue)方(fang)案，要求的光斑尺寸小到幾個微(wei)米，如微(wei)圖(tu)案表(biao)面，粗糙表(biao)面及許多(duo)其他表(biao)面。它可以配(pei)備一臺(tai)計算(suan)機控(kong) 制的XY工作臺(tai)，使其快(kuai) 速、方(fang)便(bian)和(he)準(zhun)確地描繪樣品(pin)的厚度(du)和(he)光學(xue)特性圖(tu)。品(pin)牌屬于Thetametrisis。

Thetametrisis利用 FR-Mic，通過紫外(wai)/ 可見/ 近紅外(wai)可輕易對(dui)局部區域(yu)薄膜(mo)厚度，厚度映射，光(guang)學常數，反(fan)射率(lv)，折射率(lv)及消光(guang)系數進行測量。

【相關應用】

1.高校 & 研究所實驗室

2.半導體制造

3.(氧(yang)化物/氮化物， 硅膜, 光刻膠及其他半導體薄膜.)

4.MEMS 器件(jian) (光刻(ke)膠, 硅膜等.)

5.LEDs, VCSELs

6.數據存儲

7.陽極處理

8.曲面(mian)基底的硬(ying)鍍(du)(du)及軟鍍(du)(du)

9.聚合物膜層, 粘(zhan)合劑

10.生物醫(yi)學(聚對二甲苯, 生 物膜/氣泡(pao)壁厚(hou)度.)

11.還有許多(duo)…

【Thetametrisis膜厚儀特點】

1、實時光譜測量

2、薄膜厚(hou)度(du)(du)，光學特性(xing)，非均勻性(xing)測量， 厚(hou)度(du)(du)映射

3、使用(yong)集成的(de)，USB連接高品質(zhi)彩(cai)色(se)攝像機進行成像

【Thetametrisis膜厚儀產品優勢】

1、單擊(ji)即可分(fen)析(xi) (無需初始預(yu)測(ce))

2、動態測量

3、包含光(guang)學參(can)數 (n & k, color)

4、可保(bao)存測量演示(shi)視(shi)頻(pin)錄像(xiang)

5、超(chao)過 600 種不同材(cai)料o 多(duo)個離線(xian)分析配(pei)套裝置o 免費(fei)操作(zuo)軟件(jian)升級

【技術參數】

*測量面(mian)積(收集反射(she)或透射(she)信號的(de)面(mian)積)與顯(xian)微鏡物鏡和 FR-uProbe 的(de)孔徑(jing)大小有關(guan)

。

。

。

。

【工作原理】

*規格如有更改，恕(shu)不(bu)另行通知, 測(ce)量(liang)結果與校準的(de)(de)光(guang)譜橢偏儀和 XRD 相比較, 連續(xu) 15 天測(ce)量(liang)的(de)(de)標準方差(cha)(cha)平(ping)均值。樣品：1um SiO2 on Si., 100 次厚度測(ce)量(liang)的(de)(de)標準方差(cha)(cha)，樣品：1um SiO2 on Si.

*超(chao)過(guo) 15 天的標(biao)準(zhun)偏(pian)差日平均值樣(yang)品：1um SiO2 on Si。

以上資料來自Thetametrisis，如果有需要(yao)更加詳細的信息，請聯系我們獲取。