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顯示器薄膜測量儀*的光(guang)學模塊(kuai)可(ke)容納所有光(guang)學部件：分光(guang)計、復合(he)光(guang)源(壽命10000小時)、高(gao)精度反射探頭。因此，在準確性(xing)(xing)、重(zhong)現性(xing)(xing)和長期穩定(ding)性(xing)(xing)方面保(bao)證(zheng)了優異的性(xing)(xing)能。

Thetametrisis膜(mo)厚測量儀FR-pRo是一(yi)個模塊化和可(ke)擴(kuo)展平臺的(de)光(guang)學(xue)測量設備，用于(yu)表征(zheng)厚度范圍為(wei)1nm-1mm 的(de)涂層(ceng)。

FR-Mic 多(duo)層膜(mo)厚度(du)測試儀是一款快速、準(zhun)確測量薄(bo)膜(mo)表征應(ying)用的模塊化解決(jue)方(fang)案，可(ke)以將光斑縮小到幾個微米，進而分析微小區(qu)域或者粗糙表面薄(bo)膜(mo)特(te)征。

硬化(hua)(hua)涂層膜厚(hou)儀是一款快 速、準確測(ce)量(liang)薄(bo)膜表(biao)(biao)征(zheng)應用的模塊化(hua)(hua)解決方(fang)案(an)，要求(qiu)的光斑尺(chi)寸小到幾個微(wei)米，如(ru)微(wei)圖案(an)表(biao)(biao)面(mian)，粗糙表(biao)(biao)面(mian)及許多其他表(biao)(biao)面(mian)。

FR-uProbe-LC: 可測(ce)量(liang)(liang)小(xiao)至幾微米的光(guang)斑(ban)尺寸應(ying)用，例(li)如微圖案表(biao)面、高粗糙度(du)表(biao)面的樣品等等只需單(dan)擊鼠標即可在(zai) Vis/NIR波(bo)長范圍中測(ce)量(liang)(liang)微小(xiao)區域薄膜厚度(du)、光(guang)學常數(shu)、反射率、透射率和吸光(guang)度(du)

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款(kuan)整合自動薄膜厚(hou)度(du)測(ce)(ce)繪(hui)系統，用(yong)于全(quan)自動圖案化晶圓上(shang)的單層和(he)多層涂層厚(hou)度(du)測(ce)(ce)量。電動X-Y載(zai)物臺提供(gong)適(shi)用(yong)尺寸 300mm x 300mm毫米的行程，通(tong)過真空固定在載(zai)臺上(shang)時進行精(jing)確測(ce)(ce)量。可(ke)(ke)依測(ce)(ce)量厚(hou)度(du)和(he)波長范圍(wei)應用(yong)需求可(ke)(ke)在在 200-1700nm 光(guang)(guang)譜(pu)范圍(wei)內提供(gong)各種(zhong)光(guang)(guang)學配(pei)置(zhi)