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多功能(neng)EVG7300 UV納米壓印(yin)光刻系統可以(yi)支持多種相關(guan)的UV工(gong)(gong)藝:SmartNIL，晶圓級光學(WLO)和(he)堆疊(die)-三種功能(neng)合并(bing)在一個靈活的工(gong)(gong)具中

納米壓印支持多種(zhong)標(biao)準光刻工藝，例如真空，軟(ruan)，硬(ying)和接(jie)近曝(pu)光模式(shi)，并(bing)可選擇背(bei)面對(dui)準。此外，該系(xi)統還為多功能(neng)配置提(ti)供了附加功能(neng)，包括(kuo)鍵對(dui)準和納米壓印光刻（NIL）。

EVG6200 NT以其自(zi)動(dong)化靈活(huo)性和(he)可靠性而著(zhu)稱，可在最小的(de)(de)(de)占位面積上提供了優于其他品牌的(de)(de)(de)掩(yan)模對(dui)準技術，并(bing)具(ju)(ju)有(you)最高的(de)(de)(de)產能，先進的(de)(de)(de)對(dui)準功能和(he)優化的(de)(de)(de)總(zong)擁有(you)成本(ben)。操(cao)作員友好型軟件，最短的(de)(de)(de)掩(yan)模和(he)工具(ju)(ju)更換時間以及高效(xiao)的(de)(de)(de)全球(qiu)服(fu)務和(he)支(zhi)持使它成為任(ren)何制(zhi)造環境(jing)的(de)(de)(de)理想解(jie)決方案。EVG6200 NT或(huo)安(an)裝(zhuang)的(de)(de)(de)EVG6200 NT Gen2掩(yan)模對(dui)準系統有(you)半(ban)自(zi)動(dong)或(huo)自(zi)動(dong)配置，并(bing)配有(you)集成的(de)(de)(de)振動(dong)隔離(li)功能。

光(guang)刻機Track系統(tong)(tong)通過(guo)集成(cheng)(cheng)(cheng)的生產(chan)系統(tong)(tong)和(he)結(jie)合掩(yan)模對準和(he)曝光(guang)以(yi)及集成(cheng)(cheng)(cheng)的預處理(li)和(he)后處理(li)的高度自(zi)動化功(gong)能，完善了EVG光(guang)刻機產(chan)品系列。HERCULES光(guang)刻機Track系統(tong)(tong)基于模塊化平臺，將(jiang)(jiang)EVG已(yi)建(jian)立的光(guang)學掩(yan)模對準技術與集成(cheng)(cheng)(cheng)的清潔(jie)，光(guang)刻膠涂層(ceng)，烘烤和(he)光(guang)刻膠顯影(ying)模塊相結(jie)合。將(jiang)(jiang)HERCULES平臺變成(cheng)(cheng)(cheng)了“一站式服(fu)務(wu)”，在這(zhe)里(li)將(jiang)(jiang)經過(guo)預處理(li)的晶(jing)圓裝載到(dao)工具中(zhong)，然后將(jiang)(jiang)結(jie)構化的經過(guo)處理(li)的晶(jing)圓退回。

長達 150 毫米的自動化全場紫外納米壓印解(jie)決方案，采用 EVG 專有的 SmartNIL 技術

EVG620 NT以(yi)(yi)其(qi)多功(gong)能性和(he)(he)可(ke)靠性而著稱(cheng)，在蕞小的(de)(de)占(zhan)位面(mian)積上結合了(le)先進(jin)的(de)(de)對準(zhun)功(gong)能和(he)(he)蕞優化的(de)(de)總(zong)體擁有成(cheng)本，提(ti)供了(le)優于其(qi)他品牌(pai)的(de)(de)掩模(mo)對準(zhun)技術。它是光學(xue)雙(shuang)面(mian)光刻(ke)的(de)(de)理(li)想(xiang)工(gong)具，可(ke)提(ti)供半自(zi)動或自(zi)動配置以(yi)(yi)及可(ke)選的(de)(de)全(quan)(quan)覆蓋Gen 2解(jie)(jie)決方案，以(yi)(yi)滿足大批(pi)量生產要求和(he)(he)制造標準(zhun)。擁有操(cao)作員(yuan)友好(hao)型(xing)軟件，蕞短的(de)(de)掩模(mo)和(he)(he)工(gong)具更(geng)換時(shi)間以(yi)(yi)及高效的(de)(de)全(quan)(quan)球服務和(he)(he)支(zhi)持，使它成(cheng)為任何制造環境的(de)(de)理(li)想(xiang)解(jie)(jie)決方案。