納米壓印光刻系統

簡(jian)要描述(shu)：納(na)米壓印(yin)支持(chi)多(duo)種標準(zhun)(zhun)(zhun)光(guang)刻(ke)工(gong)藝(yi)，例如真空(kong)，軟(ruan)，硬和接近曝光(guang)模式(shi)，并(bing)可選擇背面對(dui)準(zhun)(zhun)(zhun)。此(ci)外，該系統還為多(duo)功(gong)(gong)能配置提供(gong)了(le)附(fu)加功(gong)(gong)能，包括鍵對(dui)準(zhun)(zhun)(zhun)和納(na)米壓印(yin)光(guang)刻(ke)（NIL）。

產品型號(hao)：EVG610
廠商性(xing)質：代理商
產品(pin)資料(liao)：
更(geng)新(xin)時間：2024-03-19
訪問量： 4551

產品咨詢聯系我們

產品分類

Product Category

詳細介紹

該設備支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并可選擇背面對準。此外，該系統還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。

EVG610提供快速(su)的(de)處理(li)和重新安裝工具，以改(gai)變(bian)用戶需求(qiu)，光刻(ke)和NIL之間的(de)轉換(huan)時(shi)間僅為幾分鐘。其先進的(de)多用戶概念可以適(shi)應從初學者到專(zhuan)家級別的(de)所(suo)有需求(qiu)，因此(ci)使其成為大(da)學和研(yan)發(fa)應用程(cheng)序的(de)理(li)想選擇。

對于壓印工藝，EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑150毫米不等。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外，還可以包括印章的釋放機制。EV Group專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力，以實現高產量的壓印，該卡盤設計既支持軟印章也支持硬印章。

納米壓印機技術數據：

1) 晶圓直徑（基板尺寸）

2) 標準光刻：碎片蕞大150毫米

3) 柔軟的UV-NIL：蕞大150毫米的碎片

4) 解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

5) 支持流程：柔軟的UV-NIL

6) 曝光源：汞光源或紫外線LED光源

7) 自動分離功能：不支持

8) 工作印章制作：外部

納米壓印機特征：

1) 頂部和底部對準能力

2) 高精度對準臺

3) 自動楔形誤差補償機制

4) 電動和配方控制的曝光間隙

5) 支持新的UV-LED技術

6) 蕞小化系統占地面積和設施要求

7) 分步流程指導

8) 遠程技術支持

9) 多用戶概念（無限數量的用戶帳戶和配方，可分配的訪問權限，不同的用戶界面語言）

10) 敏捷處理和光刻工藝之間的轉換

11) 臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

納米壓印機主要應用：

具有紫外線納米壓印功能的通用研發掩膜對準系統，支持尺寸從碎片到蕞大150毫米。

附加功能：

1) 鍵對準

2) 紅外對中

3) 納米壓印光刻

4) 微接觸印刷

納米壓印工藝結果：

圖1 微(wei)鏡頭

圖2 納米壓印結果（100納米分辨率）

產品咨詢

留言框

產品：
您的單位：
您的姓名：
聯系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如(ru)：三(san)加四=7

上一篇：Nanotronics nSpec Macro微流控缺陷檢測

下一篇：Delcom 非接觸式電阻測試

国产精品亚洲第一区在线观看_成年丰满熟妇午夜免费视频_亚洲AV无码成人精品区狼人影院_夜夜爽77777妓女免费看

納米壓印光刻系統

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：