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Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo概述:
FR-pRo膜厚儀: 按需搭(da)建的薄(bo)膜特性表(biao)征工具。
FR-pRo膜厚(hou)儀是一(yi)個模塊化和(he)可擴展平臺(tai)的光學測量設備,用于表征(zheng)厚(hou)度(du)范圍為1nm-1mm 的涂(tu)層。
FR-pRo膜厚儀(yi)是為客(ke)戶量身定(ding)制的,并(bing)廣泛應用(yong)于各種不(bu)同的應用(yong)。
比如:
吸收率/透射率/反射率測(ce)量,薄膜特(te)性在溫度和環境控(kong)制下甚至在液體環境下的表征等(deng)等(deng)…
Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo應用:
1、大學&研究實驗室
2、半導體行業(ye)
3、高分(fen)子聚合物&阻抗表征
4、電介質特性表征(zheng)
5、生物醫學
6、硬涂(tu)層(ceng),陽(yang)極(ji)氧化,金(jin)屬零件加(jia)工
7、光學鍍膜
8、非金屬(shu)薄膜等等…
FR-pRo膜(mo)厚儀可由用(yong)(yong)戶按(an)需選擇裝配模塊,核 心部(bu)件包括光源,光譜(pu)儀(適用(yong)(yong)于(yu) 200nm-2500nm 內的任何光譜(pu)系統)和控制單元,電(dian)子通訊模塊。
此外,還有各種各種配件,比如:
1.用(yong)于測量吸收率(lv)/透射率(lv)和化學濃度的薄膜(mo)/試管架;
2.用于表(biao)征(zheng)涂層特性的薄膜厚(hou)度(du)工具;
3.用于控(kong)制溫(wen)度或液體環境下測量的(de)加熱裝置或液體試劑盒;
4.漫(man)反射和全反射積分球。
通過不同模(mo)塊組合,蕞終(zhong)的配置可以滿足任何終(zhong)端用戶的需求。
Specificatins 規格:
Model | UV/Vis | UV/NIR -EXT | UV/NIR-HR | D UV/NIR | VIS/NIR | D Vis/NIR | NIR |
光(guang)譜范(fan)圍 (nm) | 200 – 850 | 200 –1020 | 200-1100 | 200 – 1700 | 370 –1020 | 370 – 1700 | 900 – 1700 |
像(xiang)素 | 3648 | 3648 | 3648 | 3648 & 512 | 3648 | 3648 & 512 | 512 |
厚度范圍(wei) | 1nm – 80um | 3nm – 80um | 1nm – 120um | 1nm – 250um | 12nm – 100um | 12nm – 250um | 50nm – 250um |
測量(liang)n*k 蕞小范圍(wei) | 50nm | 50nm | 50nm | 50nm | 100nm | 100nm | 500nm |
準確度*,** | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 2nm or 0.2% | 3nm or 0.4% |
精度*,** | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.1nm |
穩定性*,** | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.15nm |
光源 | 氘(dao)燈 & 鎢鹵(lu)素燈(內置(zhi)) | 鎢鹵素燈(deng)(內置) | |||||
光斑 (直徑) |
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| 350um (更小光(guang)斑可根據要求選配) |
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材料數據庫 |
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| > 600 種不同材料 |
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Accessries 配件(jian):
電腦 | 19 英寸(cun)屏幕(mu)的筆記本電腦/觸摸屏電腦 |
聚(ju)焦模塊(kuai) | 光學聚焦模塊安裝在反射(she)探頭(tou)上,光斑尺寸<100um |
薄膜/比色皿容器 | 在(zai)標準器皿中對薄膜或液體的透射率測量(liang) |
接觸式探頭(tou) | 用于涂層厚度測量(liang)和光學測量(liang)的配件,適用于彎曲表(biao)面和曲面樣品(pin) |
顯微(wei)鏡 | 用于高橫向分辨率(lv)的(de)反射率(lv)及厚(hou)度顯微測量 |
Scanner (motorized) | 帶有圓晶卡(ka)盤(pan)的(de)Polar(R-Θ)或 Cartesian(X-Y)自動化樣品(pin)(pin)臺可選,Polar(R-Θ)樣品(pin)(pin)臺支(zhi)持反(fan)射(she)率測量,Cartesian(X-Y)樣品(pin)(pin)臺支(zhi)持反(fan)射(she)率和透射(she)率測量 |
積分(fen)球 | 用于表征涂層和表面(mian)的鏡面(mian)反射和漫反射 |
手動(dong) X-Y 樣品臺 | 測(ce)量面(mian)積為(wei) 100mmx100mm 或 200mmx200mm 的x - y 手動平臺 |
加(jia)熱模塊 | 嵌入FR-tool 中,范圍由室溫~200oC,通過FR-Monitor 運(yun)行可(ke)編程溫控器(0.1 oC 精度). |
液體模塊 | 聚四氟乙(yi)烯容(rong)器(qi),用(yong)于通過(guo)石英光學窗口測量在液體中的(de)樣品。樣品夾具, 用(yong)于將樣品插入可(ke)處理 30mmx30mm 樣品的液(ye)體(ti)中 |
流通(tong)池(chi) | 液體中吸(xi)光率(lv)、微量熒光測量 |
工作原理:
白光(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)光(guang)譜(WLRS)是測量(liang)垂直于(yu)樣品表面的(de)某一(yi)波段的(de)入射(she)光(guang),在經(jing)多層或(huo)單層薄膜(mo)反(fan)(fan)(fan)射(she)后,經(jing)界(jie)面干涉產生的(de)反(fan)(fan)(fan)射(she)光(guang)譜可確定單層或(huo)多層薄膜(mo)(透明(ming),半透明(ming)或(huo)全(quan)反(fan)(fan)(fan)射(she)襯底(di))的(de)厚度及(ji) N*K 光(guang)學常數。
* 規(gui)格如有更(geng)改,恕不另行(xing)通知(zhi); ** 厚度(du)測量(liang)范圍即代 表光譜范圍,是基于(yu)在高反(fan)射襯底折射率為(wei) 1.5 的(de)單層膜測量(liang)厚度(du)。
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