LODAS™ – CI8是列(lie)真(zhen)株(zhu)式(shi)會社(she)推出的一款(kuan)化(hua)合物半導(dao)體SiC、GaN晶圓檢(jian)查(cha)裝置。
LODAS™ – LI系列(lie)是列(lie)真株式會社(she)推出的一款FPD Photomask缺陷(xian)檢(jian)查裝置。
LODAS™ – BI12是(shi)列真株式會社推出的一(yi)款GlassWafe缺陷檢查(cha)裝置(zhi)。
LODAS™ – BI8是列真(zhen)株式會社推出的一款Photomask Blanks缺(que)陷檢查(cha)裝置。
LODAS™ – AI50/100是列真株式會(hui)社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置(zhi)。