iFocus是一款(kuan)用于晶圓外觀缺(que)陷檢測(ce)(ce)(ce)設備,利用STI的(de)2D/3D視(shi)覺(jue)檢測(ce)(ce)(ce)系(xi)統,采(cai)用雙2D Camera同(tong)時采(cai)集亮區和暗區照片分析特征缺(que)陷;True 3D技(ji)術(shu),可(ke)(ke)以精確量測(ce)(ce)(ce)Bumping高度,Bumping共(gong)面性等特征。可(ke)(ke)適用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產品外觀檢測(ce)(ce)(ce)。