UltraINSP晶(jing)(jing)圓表(biao)面(mian)缺(que)陷(xian)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)系(xi)統是表(biao)面(mian)缺(que)陷(xian)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)的蕞完善的國產化替代產品,系(xi)統包括(kuo)四個(ge)模塊(kuai)可以檢(jian)(jian)測(ce)(ce)所(suo)有晶(jing)(jing)圓表(biao)面(mian)并同步(bu)采集數據:晶(jing)(jing)圓正面(mian)、背面(mian)、邊緣(yuan)缺(que)陷(xian)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)模塊(kuai);輪(lun)廓、量(liang)測(ce)(ce)和檢(jian)(jian)查模塊(kuai);