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三維形貌儀通過集成一(yi)對單點(dian)，非(fei)接觸式，納(na)米分辨率(lv)的(de)(de)彩(cai)色共聚焦傳(chuan)感器與(yu)高速，納(na)米編碼的(de)(de)X/Y/Z協(xie)調運動，QuickPRO-CUBE™捕獲(huo)同步(bu)的(de)(de)前，后和基準表面(mian)3D點(dian)云地形，用于托(tuo)盤(pan)中的(de)(de)單鏡頭或(huo)微鏡頭的(de)(de)幾何表征。

晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)幾何形貌及(ji)(ji)參數紅外干(gan)涉(she)自動檢(jian)測(ce)機使(shi)用(yong)高(gao)精度(du)高(gao)速紅外干(gan)涉(she)點(dian)傳感器實(shi)(shi)現(xian)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)的(de)非接觸式測(ce)量，結合高(gao)精度(du)運動模組(zu)及(ji)(ji)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)機械手可實(shi)(shi)現(xian)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)形貌的(de)亞(ya)微米級精度(du)的(de)測(ce)量，該系(xi)統適用(yong)于(yu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)多種(zhong)材質的(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及(ji)(ji) Si 等；可以實(shi)(shi)現(xian)的(de)尺(chi)寸與結構測(ce)量內容包括： 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測(ce)試)。

白光干涉儀廣泛應(ying)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工(gong)、表面工(gong)程(cheng)技(ji)術、材料、太(tai)陽能電池技(ji)術等領域。

該儀器具備轉盤(pan)式針孔共聚(ju)焦(jiao)和白光(guang)(guang)干(gan)涉兩種光(guang)(guang)學測(ce)(ce)量技術，用于(yu)(yu)各(ge)(ge)種材料(liao)/涂層(ceng)/器件的(de)(de)(de)高精度表(biao)面(mian)三維特(te)(te)征(zheng) 測(ce)(ce)量，能夠測(ce)(ce)量從粗糙的(de)(de)(de)到(dao)光(guang)(guang)滑(hua)的(de)(de)(de)，堅硬的(de)(de)(de)到(dao)柔軟的(de)(de)(de)，黏性的(de)(de)(de)表(biao)面(mian)以及(ji)各(ge)(ge)種場合下難于(yu)(yu)測(ce)(ce)量的(de)(de)(de)表(biao)面(mian)，適用于(yu)(yu)金(jin)屬材 料(liao)、非金(jin)屬材料(liao)、復合材料(liao)、薄膜(mo)、涂層(ceng)、器件等各(ge)(ge)種各(ge)(ge)樣材料(liao)的(de)(de)(de)表(biao)面(mian)微觀結構(gou)(gou)特(te)(te)征(zheng)的(de)(de)(de)3D成(cheng)像，提供各(ge)(ge)種粗糙度， 表(biao)面(mian)結構(gou)(gou)的(de)(de)(de)臺階高度，角度、體積、長度、深度等多種數據的(de)(de)(de)測(ce)(ce)試分(fen)析、相似特(te)(te)征(zheng)的(de)(de)(de)統(tong)計分(fen)析，輪廓提取(qu)等

晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)幾何形貌(mao)及(ji)(ji)參數自(zi)動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門(men)測量晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數的自(zi)動晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)形貌(mao)檢測及(ji)(ji)分選機。

專為測量(liang)旋(xuan)轉(zhuan)對稱樣(yang)品(pin)的(de)(de)表(biao)面(mian)形貌和透明薄(bo)膜的(de)(de)厚(hou)度而設計，如金剛石車削光(guang)學表(biao)面(mian)和模塑或拋(pao)光(guang)的(de)(de)非球(qiu)面(mian)透鏡