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晶(jing)圓幾何(he)形(xing)貌及參數(shu)紅(hong)(hong)外干涉自動(dong)檢測(ce)機使用(yong)高(gao)精(jing)度(du)高(gao)速紅(hong)(hong)外干涉點傳(chuan)感器實現晶(jing)圓的(de)非接(jie)觸(chu)式測(ce)量(liang)，結(jie)合高(gao)精(jing)度(du)運動(dong)模組及晶(jing)圓機械手可(ke)實現晶(jing)圓形(xing)貌的(de)亞微米級精(jing)度(du)的(de)測(ce)量(liang)，該系統適(shi)用(yong)于晶(jing)圓多(duo)種材質的(de)晶(jing)圓，包(bao)括(kuo)藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等(deng)；可(ke)以實現的(de)尺寸與結(jie)構測(ce)量(liang)內容包(bao)括(kuo)： 包(bao)括(kuo) TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測(ce)試(shi))。

晶圓幾何形貌及(ji)參數自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量(liang)晶圓厚(hou)度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等(deng)參數的自動晶圓形貌檢測及(ji)分選機。

晶(jing)圓(yuan)幾(ji)何形貌測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)及參(can)數自動(dong)檢測(ce)(ce)(ce)機使(shi)用高精(jing)度(du)(du)高速(su)光譜共焦雙探頭對射傳感器實(shi)(shi)現晶(jing)圓(yuan)的非接觸式測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)，結合高精(jing)度(du)(du)運(yun)動(dong)模(mo)組及晶(jing)圓(yuan)機械手(shou)可實(shi)(shi)現晶(jing)圓(yuan)形貌的亞微米(mi)級精(jing)度(du)(du)的測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)，該系統適用于晶(jing)圓(yuan)多種材質的晶(jing)圓(yuan)，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等(deng)；可以實(shi)(shi)現的尺寸(cun)與結構測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)內(nei)容包括：包括 TTV, Bow, Warp, Thickness， TIR, Sag, LTV (Fullmap 測(ce)(ce)(ce)試)。