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適用(yong)于(yu)光學、工業和半(ban)導體市場的高速(su)、中精度、經濟實惠的表面輪廓儀，納(na)米分辨率彩(cai)色(se)共聚焦(jiao)傳感(gan)器（可(ke)配制(zhi)點和線(xian)傳感(gan)器），為在線(xian)過程測量和控制(zhi)而設計，結(jie)構(gou)緊湊，易于(yu)上下片(pian)和操(cao)作，可(ke)配制(zhi)成獨立系(xi)統（X/Y/Z） 和附加升級至LAS （C/R/Z），多種樣品處理能(neng)力(li)

QuickOCT-4D™ 將單點(dian)可(ke)(ke)見光(guang)光(guang)譜域光(guang)學(xue)相干斷層(ceng)掃(sao)描(miao) （SD-OCT） 傳感(gan)器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制(zhi)平(ping)(ping)臺相結合，可(ke)(ke)以在(zai)高達(da)(da) 66 kHz 的單次測(ce)量中(zhong)捕獲透(tou)明薄(bo)膜樣(yang)品(pin)中(zhong)每層(ceng)的平(ping)(ping)面。QuickOCT-4D™ 穿(chuan)透(tou)深度(du)（高達(da)(da) 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導(dao)體、生命科學(xue)和制(zhi)藥行(xing)(xing)業的多層(ceng)透(tou)明薄(bo)膜、平(ping)(ping)面基板和功能層(ceng)的測(ce)量進行(xing)(xing)了優化。

晶圓(yuan)幾(ji)何形貌測(ce)量(liang)(liang)及(ji)(ji)參數自動檢(jian)測(ce)機使用(yong)(yong)高(gao)(gao)精(jing)(jing)度(du)高(gao)(gao)速(su)光譜共焦雙探(tan)頭(tou)對射傳感器實現(xian)晶圓(yuan)的(de)非接觸(chu)式測(ce)量(liang)(liang)，結(jie)合高(gao)(gao)精(jing)(jing)度(du)運動模組及(ji)(ji)晶圓(yuan)機械手可實現(xian)晶圓(yuan)形貌的(de)亞微米級精(jing)(jing)度(du)的(de)測(ce)量(liang)(liang)，該系統適用(yong)(yong)于(yu)晶圓(yuan)多種材(cai)質的(de)晶圓(yuan)，包括(kuo)藍寶石(shi)、GaAs、GaN、SiC 以及(ji)(ji) Si 等；可以實現(xian)的(de)尺寸與結(jie)構測(ce)量(liang)(liang)內容包括(kuo)：包括(kuo) TTV, Bow, Warp, Thickness， TIR, Sag, LTV (Fullmap 測(ce)試)。

Filmetrics 3D光學輪廓儀(yi)(yi)具(ju)有3倍於于其(qi)成本儀(yi)(yi)器的(de)次納(na)米級垂直分辨率(lv), Profilm3D同樣使用了現今高(gao)分辨率(lv)之光學輪廓儀(yi)(yi)的(de)測量技術(shu)包含垂直掃描(miao)干(gan)涉（VSI）及(ji)相移干(gan)涉（PSI）。