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FilmSense多波段(duan)橢偏(pian)儀可(ke)通過橢偏(pian)參數(shu)、 透(tou)射/反射率等參數(shu)的測量，快速實現光(guang)學參數(shu)薄膜和納米(mi)結構的表征(zheng)分析(xi),適用于薄膜材(cai)料的快速測量表征(zheng)。