FilmSense多(duo)波段橢偏儀FS-1介紹

　　創新的

　　FilmSense FS-1多波段橢(tuo)偏(pian)儀使(shi)用(yong)長壽命LED光源設計，使(shi)用(yong)壽命大于5000小時，同時FS-1的(de)(de)(de)設計結構(gou)沒有轉動部件以確(que)保設備的(de)(de)(de)穩定性。總(zong)的(de)(de)(de)來(lai)講，FS-1是一臺簡(jian)單易用(yong)的(de)(de)(de)緊湊型設計的(de)(de)(de)橢(tuo)偏(pian)儀但它能提供快速、可靠的(de)(de)(de)薄膜測(ce)量。

　　強大的

　　大(da)多數透明薄膜的(de)膜厚度從(cong)0-1000nm都可(ke)(ke)以(yi)測量(liang)，FS-1提(ti)供不錯的(de)準確度與(yu)良好的(de)穩定性，而且在1秒時(shi)間內就可(ke)(ke)以(yi)得到測量(liang)結果，同時(shi)光學常數n和k和其他(ta)性能也可(ke)(ke)以(yi)測量(liang)。

　　負擔得起的

　　FS-1是(shi)多(duo)波段(duan)橢(tuo)偏儀(yi)，但用戶(hu)可以(yi)用相當于(yu)單波長(chang)(chang)橢(tuo)偏儀(yi)或光譜反射儀(yi)系統(tong)的(de)價(jia)格，卻得到多(duo)波長(chang)(chang)橢(tuo)偏儀(yi)的(de)品質(zhi)。FS-1可用于(yu)實驗室(shi)研究，教(jiao)學，在線制(zhi)程監控，工業(ye)品質(zhi)控制(zhi)等應用。

什么是橢偏儀

　　橢(tuo)偏(pian)儀是(shi)測量樣品(pin)反射(she)光(guang)偏(pian)振態(tai)的(de)變(bian)化。橢(tuo)偏(pian)測量是(shi)由下面的(de)公式量化，是(shi)相位(wei)(wei)差。ρ是(shi)反射(she)光(guang)的(de)偏(pian)振光(guang)Rp和偏(pian)振光(guang)Rs的(de)反射(she)率(lv)比。橢(tuo)偏(pian)儀ψ參(can)數(shu)是(shi)和ρ的(de)大小有關(guan)，Δ參(can)數(shu)是(shi)相位(wei)(wei)復合比。

 用(yong)橢偏數據來分析(xi)確定(ding)感興趣的(de)樣品參數，如薄膜(mo)厚度和折射率，光學模型(xing)等

　　橢偏儀的優點：

　　1、橢偏儀是(shi)測量比率，所以它(ta)對光束強度(du)的變化，或樣品(pin)的缺陷引起散射光不敏感的。

　　2、橢偏儀在每個波長測(ce)量(liang)2個量(liang)(Ψ and Δ)，可以確定2個定量(liang)比如(ru)薄(bo)膜厚(hou)度(du)，以及光(guang)(guang)學常(chang)數或基底的折射系數和消光(guang)(guang)系數。

　　3、橢偏儀(yi)對薄膜Δ參(can)數相位差極其敏感，能(neng)夠準確的測(ce)量薄膜厚度低至0Å。

　　FilmSense多波段橢偏儀FS-1主要特點：

　　1、四種(zhong)LED光源：藍色(465nm)、綠(lv)(525nm)，黃色(580nm)，紅色(635nm)

　　2、在(zai)沒有運(yun)動部件的橢(tuo)偏儀

　　3、優異的厚度測量精(jing)度，優于0.001nm的樣品(1秒(miao)獲(huo)得測量結果(guo))，甚至適(shi)用于亞單原子(zi)層膜的厚度

　　4、集成(cheng)計算(suan)機(ji)儀器(qi)控制和數(shu)據(ju)分析，任何電(dian)腦，臺式機(ji)，手提都可以(yi)從web瀏覽器(qi)界面獲得數(shu)據(ju)

　　優點

　　1.長壽命(>50000小時)，不(bu)用頻繁更換(huan)昂貴的燈(deng)泡，或(huo)定時校(xiao)正或(huo)周期維護。

　　2.快速多(duo)次測量(多(duo)波長數據(ju)在10毫秒)且(qie)長期可(ke)靠性

　　3.測量精度只有用橢偏儀才能(neng)達(da)到

　　4.沒有復雜(za)的軟件設置和維(wei)護

　　表現

　　FS-1測量(liang)透明單(dan)層膜(mo)(mo)的厚度和(he)折(zhe)射率,厚度測量(liang)范圍(wei)從0到1000nm.經(jing)典的FS-1對多種樣品都能提(ti)供穩定的測量(liang)，包括多層膜(mo)(mo)。如(ru)下表所示。如(ru)需有關測量(liang)技術和(he)更(geng)多細節，請(qing)聯系Film Sense并要求(qiu)我們提(ti)供測量(liang)報告(gao)。

　　FS-1多(duo)波長橢(tuo)偏儀優點(dian)

　　1.寬(kuan)范圍膜(mo)厚(hou)測量功能，對于透明膜(mo)至少可達1μm(無厚(hou)度周期性(xing)問題)。

　　2.測量更多的樣(yang)品(pin)參數，如：表面粗糙度，多膜厚度，折(zhe)射率(lv)色散。

　　3.提供一(yi)致性檢驗數據(ju)(ju)，分析(xi)一(yi)個合格?分析(xi)模型(xing)，該模型(xing)適用于四個波長的(de)數據(ju)(ju)。

　　技術

　　1.多波長的橢偏技術

　　2.光學模型補償的(de)LED帶寬

　　3.具備(bei)光束不(bu)對位的補(bu)償功能

　　4.模(mo)型(xing)驗證功(gong)能

　　應用

　　1、FS – 1是多波(bo)長橢(tuo)偏儀，但用(yong)戶可(ke)以(yi)用(yong)相當于(yu)單波(bo)長橢(tuo)偏儀或光譜反射(she)儀系統(tong)的價(jia)格(ge)，卻得到(dao)多波(bo)長橢(tuo)偏儀的品質。FS -1可(ke)用(yong)于(yu)實(shi)驗室研(yan)究，教學，在線(xian)制程監控，工業品質控制等應用(yong)。

　　2、半導體行業：硅的氧化物(wu)和氮化物(wu)，高和低k介質、多晶(jing)和非晶(jing)硅薄膜，光刻膠

　　3、光學涂覆(fu)工(gong)業(ye)：高、低折(zhe)射(she)率薄(bo)膜如(ru)SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等(deng)。

　　4、顯(xian)示行業：導電(dian)層(ceng)(如(ru)ITO)，非(fei)晶硅薄膜(mo)、有(you)機薄膜(mo)(OLED技術)

　　5、數據(ju)存(cun)儲產業：類金剛石薄膜

　　6、R&D 工序(xu)：薄(bo)膜沉積的原(yuan)位表征(zheng)(速率(lv)和光學(xue)常(chang)數(shu))對應工藝條(tiao)件的變化值，適用(yong)于(yu)MBE、MOCVD、ALD、濺射等。

　　7、化(hua)學(xue)和生物：亞-單(dan)層材(cai)料吸附(fu)液體(ti)中的細(xi)胞實驗檢測(ce)

　　8、工(gong)業：在線監測和(he)控(kong)制薄膜的厚度

　　光譜測量(通過光譜橢偏儀或光譜反射(she))有可(ke)能描述(shu)單個薄膜表征(zheng)樣品或2、3層膜結(jie)(jie)構。FS-1軟(ruan)件里的(de)模型驗證功(gong)能也可(ke)以(yi)成功(gong)確定(ding)一個特(te)定(ding)的(de)樣本結(jie)(jie)構。

　　原位的能力

　　1.亞原子單層厚度精度

　　2.在真(zhen)空環境中，測量多種工(gong)藝條(tiao)件下薄膜光學常數n&k值以及(ji)沉積速率

　　3.監視和(he)控制(zhi)多層膜結構的沉積

　　4.FS?API接口為外部軟件(jian)控(kong)制(LabVIEW兼(jian)容)

　　5.適用于大多數(shu)的薄(bo)膜沉積技術:濺射(she),ALD,MBE,MOCVD,電子束蒸發等。

 原位檢測功能

　　FS-1是理想的(de)原位實時監測和控制薄膜(mo)沉積工藝的(de)設備

　　1.LED光源和無(wu)運動部(bu)件檢(jian)測器(qi)，堅固可靠，快(kuai)速測量(liang)

　　2.結(jie)構緊湊，重量(liang)輕的光源和檢測器單元(≈每(mei)個(ge)1公斤)

　　3.可選的適(shi)配器安(an)裝(zhuang)在(zai)標準的2.75?或1.33?的Conflat法(fa)蘭(可以(yi)在(zai)不關閉真空的條件(jian)下進行安(an)裝(zhuang))

　　4.易(yi)于調(diao)整平臺(tai)傾斜

 聚焦光束檢測

　　聚焦光(guang)束(shu)檢測系(xi)(xi)統結合了FS-1多波長的橢偏儀的聚焦光(guang)學系(xi)(xi)統和手動(dong)轉換(huan)平(ping)臺。該系(xi)(xi)統是半導(dao)體晶圓(yuan)圖案的手動(dong)檢查和質量控(kong)制測量理想的工具。

　　•小光(guang)斑尺寸和相機(ji)成像(xiang)運行

　　•手動轉換(huan)平(ping)臺，容(rong)納4，5，和6晶(jing)圓直徑。

　　•樣(yang)品上(shang)的(de)光束大小：0.3×0.7毫(hao)米(mi)

　　•視(shi)頻觀察(cha)樣品上光(guang)束(shu)位置

       軟件(jian)

　　FS-1軟(ruan)件(jian)(jian)獲得(de)了橢偏(pian)數據，并報告樣本參數(厚度、折射率，等等)，都源于測量。FS-1軟(ruan)件(jian)(jian)運行(xing)在電腦里面的(de)FS-1探(tan)測器(qi)單元(yuan)，和一(yi)個標準的(de)Web瀏覽器(qi)提供(gong)了軟(ruan)件(jian)(jian)的(de)用戶界面。任(ren)何臺式機，筆記本電腦，或平板電腦，支持現代(dai)Web瀏覽器(qi)(Windows，Mac OS X，Linux，iOS，Android)可以使用以太網(wang)連接操(cao)(cao)作(zuo)的(de)FS1(沒(mei)有互聯網(wang)和Web訪問的(de)情況 下(xia))。從(cong)Web瀏覽器(qi)界面通訊主要優點是(shi)，無需(xu)安(an)(an)裝軟(ruan)件(jian)(jian)，從(cong)而大大簡化了FS-1的(de)安(an)(an)裝與(yu)操(cao)(cao)作(zuo)設置。

　　單一(yi)的測量模式(shi)使得常(chang)規樣品(pin)測量如點擊按鈕一(yi)樣容易。

模型驗證器(qi)驗證所有的模型擬合參數(shu)將*地(di)收(shou)斂在 的范圍(wei)內。

分(fen)析模型的模式提(ti)供(gong)了強大的功能來分(fen)析和(he)可視化 的FS-1橢偏數據(ju)。

特征

　　1、常規的樣(yang)品檢測，原(yuan)位多層膜監控(kong)，多樣(yang)品測量，和軌跡數據分析模式.

　　2、多達10個模型層，與可選的表(biao)面(mian)粗糙度，和(he)襯(chen)底背面(mian)校(xiao)正(zheng)分析功(gong)能。

　　3、參數范圍和初增量以提高(gao)擬合參數的匹配性.

　　4、Bruggeman介電常數(shu)近似(si)以(yi)理(li)論用于混合材料以(yi)及分(fen)級(ji)指標層分(fen)析

　　5、柯(ke)西和Sellmeier色散模(mo)型。

　　6、溫(wen)度或成分相關的(de)光學(xue)常數(shu)庫文件。

　　7、去(qu)極化或透射強度(du)數(shu)據可(ke)以結合多波長(chang)數(shu)據分(fen)析。

　　8、模(mo)擬單一(yi)測量或動態數據。

 關于我們

　　Film Sense---擁有(you)超(chao)過20年(nian)(nian)行業經(jing)驗的(de)橢偏(pian)儀制造商。20年(nian)(nian)如一(yi)日的(de)嚴謹，為的(de)是創造出的(de)橢偏(pian)儀系統(tong)，為廣泛(fan)范(fan)圍的(de)薄膜應用提供不錯的(de)測量(liang)解(jie)決(jue)方案。