FilmSense FS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設計，使用壽命大于5000小時，同時FS-1的設計結構沒有轉動部件以確保設備的穩定性。總的來講，FS-1是一臺簡單易用的緊湊型設計的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。
FilmSense 橢偏儀的優點：
1、沒(mei)有復雜的軟件設(she)置和維護。
2、測量精(jing)度只(zhi)有用本儀器才能達到(dao)。
3、快速(su)多次(ci)測量（多波(bo)長數據在10毫秒）且長期可靠性。
4、長壽命(ming)（>50000小(xiao)時），不(bu)用(yong)頻繁更(geng)換(huan)昂貴(gui)的燈泡(pao)，或定(ding)時校正(zheng)或周期維(wei)護。
5、器對薄(bo)膜Δ參(can)數(shu)相(xiang)位(wei)差(cha)極其(qi)敏感，能(neng)夠準(zhun)確的測量薄(bo)膜厚度(du)低至0?。
6、橢(tuo)偏儀是測量(liang)比率，所(suo)以它對光(guang)束強度(du)的(de)(de)變化(hua)，或樣品的(de)(de)缺陷(xian)引起散射光(guang)不敏感的(de)(de)。
7、儀器在(zai)每(mei)個(ge)波長測量(liang)2個(ge)量(liang)(Ψ and Δ)，可以(yi)確(que)定(ding)2個(ge)定(ding)量(liang)比(bi)如薄膜厚(hou)度，以(yi)及光學常(chang)數或基底的折(zhe)射系(xi)數和消光系(xi)數。
FilmSense 橢偏儀的應用：
1、FS -1可用于(yu)實(shi)驗室研究，教學(xue)，在線制程監控(kong)，工業品質控(kong)制等應用。
2、半導體行(xing)業：硅的氧化(hua)物和(he)氮(dan)化(hua)物，高和(he)低k介質、多晶和(he)非晶硅薄膜，光(guang)刻膠。
3、光(guang)學涂覆工業：高(gao)、低(di)折射(she)率薄膜如SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等。
4、顯示行業(ye)：導(dao)電層（如ITO），非晶硅薄膜(mo)(mo)、有機薄膜(mo)(mo)（OLED技術）。
5、數據存儲產業：類金剛石薄(bo)膜(mo)。
6、R&D 工序：薄膜沉積的原位表(biao)征（速率和光學常數(shu)）對應工藝(yi)條件(jian)的變化值，適用于MBE、MOCVD、ALD、濺射(she)等。
7、化(hua)學(xue)和生物：亞(ya)-單層材料吸附液體中的細胞(bao)實驗(yan)檢測。
8、工業：在線監測和控(kong)制薄膜的厚度。
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