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晶圓厚度測量
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FR-Ultra 是一款專用(yong)(yong)于精確(que)測量半導體(ti)以及介電材料(liao)超厚(hou)層的(de)專用(yong)(yong)設備。 藉(jie)由先進(jin)的(de)光(guang)學(xue)器件,FR-Ultra 可以測量光(guang)滑(hua)或粗糙的(de)薄膜(mo)以及較厚(hou)的(de)基材。
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