Dymek Orzew FC20使用無接觸式(shi)單側紅外干涉光傳(chuan)感器,搭配(pei)(pei)標準真空(kong)吸附晶(jing)圓載臺,Dymek Orzew FC20X使用無接觸式(shi)點光譜共焦對射傳(chuan)感器,搭配(pei)(pei)符合行業標準的三點支(zhi)撐(cheng)水平(ping)載臺,兩(liang)套(tao)系統均配(pei)(pei)有(you)高速、高精度運動模組和(he)晶(jing)圓機械手(shou),滿足亞微米級的形 貌(mao)測量(liang)需求,可選裝配(pei)(pei)電阻率測試模塊,滿足更(geng)多樣化的量(liang)測需求,適應更(geng)多的晶(jing)圓制程。