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簡要描述：Dymek Orzew FC20使(shi)用無接觸式單側紅外干涉光傳(chuan)感器(qi)(qi)，搭(da)配(pei)(pei)標準真(zhen)空(kong)吸附晶(jing)圓載(zai)(zai)臺(tai)，Dymek Orzew FC20X使(shi)用無接觸式點(dian)光譜(pu)共焦(jiao)對(dui)射傳(chuan)感器(qi)(qi)，搭(da)配(pei)(pei)符合行業標準的(de)(de)三點(dian)支(zhi)撐水平載(zai)(zai)臺(tai)，兩套系統均配(pei)(pei)有高速、高精(jing)度運動模(mo)組(zu)和晶(jing)圓機械手，滿足亞微米(mi)級的(de)(de)形 貌(mao)測量需求，可選裝配(pei)(pei)電阻率測試模(mo)塊(kuai)，滿足更(geng)多樣化的(de)(de)量測需求，適應更(geng)多的(de)(de)晶(jing)圓制程。
產品型號：Orzew FC20/FC20X廠商性質：代理商產品資料(liao)：更新時(shi)間：2024-03-19訪 問 量(liang)： 754詳細介紹
多種測量能力
•形貌測量
•晶圓分選
•電阻(zu)率測量
•關鍵尺寸檢測
自由(you)選擇適配的測量(liang)方(fang)式
•Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側紅外干(gan)涉光傳感器，搭配標準真空吸附(fu)晶圓載臺
•Dymek Orzew FC20X使用無接觸(chu)式(shi)點(dian)光譜共焦對射傳感(gan)器，搭配符合行業標準的(de)三點(dian)支撐水平載臺(tai)
•兩套系統(tong)均(jun)配(pei)有高(gao)(gao)速、高(gao)(gao)精度運(yun)動(dong)模組和晶圓(yuan)機械手，滿(man)足亞微米級的(de)形(xing)貌測量需求
•可選裝配電阻率測試模塊，滿足更多樣化的量測需求，適應更多的晶圓制程
厚(hou)度(du)分布(bu)熱力圖(tu)和(he)三維(wei)面型
•具備4，6，8寸(cun)晶圓(yuan)檢(jian)測能力（12寸可選）
•全(quan)自動輸出測量結果
•自定(ding)義電阻率檢測輸出方式
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