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美國FSM 薄膜應力(li)(li)(li)及基底(di)翹曲測(ce)試設備(bei)：在襯底(di)鍍(du)上不(bu)(bu)同的(de)(de)薄膜后, 因為(wei)兩者材質不(bu)(bu)一(yi)樣，以及不(bu)(bu)同的(de)(de)材料不(bu)(bu)同溫(wen)度下(xia)特性不(bu)(bu)一(yi)樣, 所以會引起應力(li)(li)(li)。 如應力(li)(li)(li)太大會引起薄膜脫落(luo), 引致組(zu)件失效或可靠性不(bu)(bu)佳的(de)(de)問題。 薄膜應力(li)(li)(li)激光測(ce)量儀利用激光測(ce)量樣本(ben)的(de)(de)形貌,透過比較(jiao)鍍(du)膜前后襯底(di)曲率半徑(jing)的(de)(de)變化(hua), 以Stoney’s Equation計(ji)算出(chu)應力(li)(li)(li), 是品檢(jian)及改進工藝的(de)(de)有/效手段。

美國(guo)FSM 高(gao)溫(wen)薄膜應力及基底(di)翹曲測(ce)試設(she)備：美國(guo)FSM成立于1988年，總部位(wei)于圣何塞，多年來(lai)為(wei)半導體行業等(deng)高(gao)新行業提(ti)供各式(shi)精密的(de)測(ce)量設(she)備。

StrainScope Flex可(ke)調(diao)式(shi)實時(shi)應(ying)力儀 產品具有測(ce)量(liang)(liang)(liang)速度快、精度高(gao)、重復性好等特點，對(dui)大尺寸樣品可(ke)拼(pin)接測(ce)量(liang)(liang)(liang)。其應(ying)力測(ce)量(liang)(liang)(liang)設備用(yong)戶包(bao)括(kuo)肖特、卡(ka)爾(er)-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著(zhu)名(ming)公司。應(ying)用(yong)領域包(bao)括(kuo)光學材(cai)料(liao)、醫用(yong)包(bao)裝材(cai)料(liao)、高(gao)分子類(lei)密封材(cai)料(liao)等。

實時型StrainScope S3/S4 應力(li)(li)儀 產(chan)品具有(you)測量速度快(kuai)、精度高、重復性好等(deng)特點，對大尺(chi)寸樣品可拼接測量。其應力(li)(li)測量設(she)備(bei)用戶包(bao)(bao)括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等(deng)著名(ming)公(gong)司。應用領域包(bao)(bao)括光學材料(liao)、醫用包(bao)(bao)裝材料(liao)、高分子類密封(feng)材料(liao)等(deng)。

拼(pin)接型StrainMatic stepper應力儀 產品(pin)具(ju)有測量速(su)度(du)快(kuai)、精(jing)度(du)高(gao)(gao)、重復性好(hao)等(deng)特點，對(dui)大尺(chi)寸樣品(pin)可拼(pin)接測量。其應力測量設備用(yong)戶廣，用(yong)戶包(bao)括(kuo)肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等(deng)著(zhu)名(ming)公(gong)司。應用(yong)領域包(bao)括(kuo)光學材料、醫(yi)用(yong)包(bao)裝(zhuang)材料、高(gao)(gao)分子類密(mi)封材料等(deng)。

德國ilis公司成(cheng)(cheng)立于1998年，專(zhuan)業研(yan)發制造高(gao)精度(du)應力雙折射(she)分析軟件(jian)與測量(liang)設(she)備，薄膜應力測試儀采用成(cheng)(cheng)像式光(guang)彈原(yuan)理，直接測量(liang)光(guang)延遲，可(ke)以(yi)快(kuai)速給出高(gao)分辨率的高(gao)精度(du)測量(liang)結果。