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詳細介紹
探針測(ce)量是(shi)通(tong)過監測(ce)精(jing)密(mi)探針劃過薄(bo)(bo)膜表面的偏移測(ce)量薄(bo)(bo)膜厚度(du)和粗(cu)糙度(du)，常(chang)常(chang)是(shi)不透明薄(bo)(bo)膜如金(jin)屬薄(bo)(bo)膜的其中一(yi)種測(ce)量方法。
KOSAKA 臺階儀（探針臺）具有(you)以下(xia)特點(dian)：
二維／三維表面粗(cu)度解(jie)析及(ji)臺階測定，可實現(xian)高精度、高辨識能力及(ji)優越的安全(quan)性。
用于(yu)平板(ban)顯示器、硅片、硬盤等的微(wei)細形狀臺階／粗度測定(ding)另外也可利用微(wei)小(xiao)測定(ding)力來對(dui)應軟質(zhi)樣品表面測定(ding)。
具備(bei)載物臺旋轉功能，便于定位下針位置。
高精度 • 高穩(wen)定性 • 功能超群。
FPD 基(ji)板 • 硅(gui)片 • 硬盤等
微(wei)細形(xing)狀、段差、粗糙度等測量。
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