詳細介紹
探針測(ce)(ce)量(liang)是通過監測(ce)(ce)精(jing)密探針劃過薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)表面的偏移測(ce)(ce)量(liang)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)厚度和粗糙度,常常是不透明薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)如金屬薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)的其中一種(zhong)測(ce)(ce)量(liang)方法。
KOSAKA 臺階儀(探針(zhen)臺)具(ju)有以下(xia)特點(dian):
二維(wei)/三維(wei)表(biao)面(mian)粗度解(jie)析及臺階測定(ding),可實(shi)現高精度、高辨識(shi)能力及優越的(de)安全性(xing)。
用于平(ping)板顯示器、硅(gui)片、硬盤等(deng)的微(wei)細形(xing)狀臺階/粗度測定(ding)另外也可(ke)利用微(wei)小測定(ding)力來(lai)對應(ying)軟質樣品表面測定(ding)。
具備載物臺旋轉功能(neng),便于定位下針位置。
高精度 • 高穩定性 • 功能超(chao)群。
FPD 基(ji)板 • 硅片 • 硬盤等
微細形狀、段差、粗糙度(du)等測量。
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