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系統可(ke)以(yi)為(wei)各(ge)種材質薄膜提(ti)供高精度的(de)(de)厚度均勻性測量(liang)。使用創新的(de)(de)融合(he)光譜反射技(ji)術、近紅外干(gan)涉技(ji)術以(yi)及高亮度光源驅動的(de)(de)光譜橢(tuo)偏儀技(ji)術的(de)(de)多傳(chuan)感器融合(he)測量(liang)技(ji)術，是國內(nei)可(ke)以(yi)實現同(tong)質膜厚全自動檢(jian)測的(de)(de)系統。

系統用于磨片、拋光(guang)等(deng)(deng)前道工(gong)藝流程中的(de)晶圓(yuan)尺(chi)寸及形貌(mao)檢(jian)測，包(bao)括TTV，Bow，Warp，TIR等(deng)(deng)參(can)數，可覆(fu)蓋(gai)4寸-12寸任何材質晶圓(yuan)的(de)關鍵尺(chi)寸檢(jian)測，精度達(da)國際水平，產(chan)能和經濟效益遠超國內外(wai)產(chan)品。

UltraINSP晶圓表(biao)面(mian)缺陷(xian)檢(jian)測(ce)系統是表(biao)面(mian)缺陷(xian)檢(jian)測(ce)的蕞完善的國產(chan)化替代(dai)產(chan)品，系統包括四個模(mo)(mo)塊可以(yi)檢(jian)測(ce)所有晶圓表(biao)面(mian)并同(tong)步采(cai)集數據(ju)：晶圓正面(mian)、背面(mian)、邊緣缺陷(xian)檢(jian)測(ce)模(mo)(mo)塊；輪廓、量測(ce)和檢(jian)查模(mo)(mo)塊