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非接觸式電阻(zu)測試(shi)可保證被測試(shi)材料(liao)的實際薄膜電阻(zu)值偏差不超過 3%。以下圖表所展示的是根據 10 NIST、VLSI 和(he) MSA 標(biao)準測試(shi)的 Delcom 計量(liang)器。

薄膜(mo)電阻測試用戶可以直接在(zai)材料(liao)(liao)上繪(hui)制網格(ge)圖形(xing)，或者(zhe)將材料(liao)(liao)放入一個(ge)塑料(liao)(liao)信封并在(zai)信封上繪(hui)制網格(ge)圖形(xing)。然后用戶根據這些(xie)網格(ge)線遞增材料(liao)(liao)。