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OptoScan600是(shi)一款光學(xue)粗糙度(du)(du)測試(shi)儀，主要用于(yu)檢測晶圓缺陷(xian)、粗糙度(du)(du)、波(bo)紋(wen)度(du)(du)、翹曲(qu)度(du)(du)等數據。

光學粗糙(cao)度(du)測(ce)試儀WaferMaster WM 300 不像(xiang)傳統輪廓儀需要長時間的(de)垂(chui)直(zhi)高(gao)度(du)掃描加上水平拼接(jie)(jie)以(yi)得到(dao)3D的(de)表面(mian)輪廓進行耗(hao)時粗糙(cao)度(du)計算(suan)(suan)。利用角分辨光散(san)射技術測(ce)量(liang)(liang)晶圓表面(mian)梯度(du)角計算(suan)(suan)的(de)粗糙(cao)度(du)，以(yi)每秒2000次高(gao)速(su)掃描全晶圓表面(mian)上面(mian)粗糙(cao)度(du)，為目前業界最快全晶圓粗糙(cao)度(du)測(ce)量(liang)(liang)系統，可以(yi)依各種(zhong)樣品形狀尺寸客制化量(liang)(liang)測(ce)探頭以(yi)及平臺解(jie)決(jue)方案。WM 300 可直(zhi)接(jie)(jie)計算(suan)(suan)得到(dao)以(yi)微米(mi)為單位的(de)粗糙(cao)度(du)值，波紋(wen)度(du)和輪廓值。