光(guang)學輪廓儀(yi)是(shi)一(yi)款便捷(jie)的(de)、精確的(de)、實用(yong)的(de)非接(jie)觸三(san)維(wei)形(xing)貌(mao)測(ce)量系統。它建立在移(yi)相干涉測(ce)量（PSI）、白光(guang)垂直(zhi)掃(sao)描干涉測(ce)量（VSI）和單色光(guang)垂直(zhi)掃(sao)描干涉測(ce)量（CSI）)等技術(shu)的(de)基礎上，以其(qi)納米級測(ce)量準(zhun)確度和重復性（穩定性）定量地反映出被測(ce)件的(de)表面粗(cu)糙度、表面輪廓、臺階高(gao)度、關鍵(jian)部位(wei)的(de)尺(chi)寸及其(qi)形(xing)貌(mao)特征等。廣泛應用(yong)于(yu)集成(cheng)電路(lu)制造、MEMS、航空航天、精密加(jia)工、表面工程技術(shu)、材(cai)料、太(tai)陽能電池技術(shu)等領域(yu)。
目(mu)前，光學(xue)輪廓儀(yi)具有許(xu)多和大型機臺一樣的(de)優點，包括：測量設(she)置簡單易(yi)學(xue)，高速(su)數據采集(ji)能力，強大的(de)數據分析能力以及(ji)0.1納米量級的(de)測試重復精度。可(ke)選(xuan)配自動樣品臺使儀(yi)器實現(xian)程(cheng)序化。
光學輪廓儀的(de)(de)(de)(de)量測性能與(yu)其它同類產品相(xiang)當，但其較(jiao)小的(de)(de)(de)(de)尺寸(cun)及靈(ling)活的(de)(de)(de)(de)配置為用(yong)戶(hu)將來(lai)的(de)(de)(de)(de)發(fa)展提(ti)供了基礎。系統(tong)包(bao)(bao)含了完整版的(de)(de)(de)(de)Vision分(fen)析(xi)軟(ruan)件(jian)(jian)，該軟(ruan)件(jian)(jian)是行業內功(gong)能較(jiao)全的(de)(de)(de)(de)分(fen)析(xi)軟(ruan)件(jian)(jian)，可實(shi)現二(er)維(wei)(wei)和(he)三維(wei)(wei)的(de)(de)(de)(de)數據分(fen)析(xi)及可視化功(gong)能。Vision軟(ruan)件(jian)(jian)為用(yong)戶(hu)提(ti)供了200余種分(fen)析(xi)工具，包(bao)(bao)括自動(dong)測序功(gong)能、數據記(ji)錄和(he)實(shi)時反饋及統(tong)計(ji)控制過程的(de)(de)(de)(de)合(he)格/不合(he)格標(biao)準。用(yong)戶(hu)采用(yong)可選的(de)(de)(de)(de)軟(ruan)件(jian)(jian)包(bao)(bao)還可以定制專(zhuan)門的(de)(de)(de)(de)數據分(fen)析(xi)用(yong)戶(hu)界面。
產品優勢有以下7點：
1、Nikon干涉物鏡(jing)；
2、TMC光(guang)學隔振臺；
3、PI納(na)米移(yi)動平臺及控(kong)制系統；
4、NI信號控制板(ban)和(he)Labview64 控制軟件(jian)；
5、美國硅谷研發的合心(xin)技術和系統軟件；
6、關鍵硬(ying)件采(cai)用(yong)美(mei)國、德(de)國、日本等品牌；
7、測量準確度重復性達到先進水平（中國計量科學研究院證書）。
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