橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。現在已被廣泛應用于材料、物理、化學、生物、醫藥等領域的研究、開發和制造過程中。
基本(ben)原(yuan)理(li)：
橢偏儀的原理主(zhu)要依賴(lai)于光(guang)的偏振現象。當光(guang)線通過某些物質(zhi)(zhi)時，其偏振狀(zhuang)態(tai)(tai)會發(fa)生(sheng)變(bian)化(hua)。橢偏儀利用這一特性，通過精確(que)控制(zhi)入射光(guang)的偏振態(tai)(tai)，并測量(liang)經(jing)過樣(yang)品后(hou)光(guang)的偏振態(tai)(tai)變(bian)化(hua)，進而分析樣(yang)品的性質(zhi)(zhi)。
橢偏法測(ce)量具(ju)有(you)如(ru)下特點：
1.能測(ce)量很(hen)薄的膜（1nm），且精度(du)很(hen)高，比干(gan)涉法(fa)高1-2個數量級。
2.是一(yi)種(zhong)無損測量(liang)，不必特別制(zhi)備樣(yang)品(pin)，也不損壞樣(yang)品(pin)，比(bi)其它精密方(fang)法：如稱重法、定量(liang)化學分析法簡(jian)便。
3.可(ke)同(tong)時測(ce)量膜的厚(hou)度、折射(she)率以及吸收(shou)系(xi)數。因此可(ke)以作為分析工具使用。
4.對一些表面結構、表面過程和表面反應相當敏感。是研究表面物理的一種方法。
歡迎來到岱美儀器技術服務（上海）有限公司網站！
網站首頁
